【基礎用語解説】スループット
ファブの中に置かれている半導体製造装置が1時間当たり何枚のウェハーを処理できるかの生産能力を図る指標のことです。スループット50枚と言えば、1時間あたり50枚のウェハーを処理できることを意味します。ウェハーの処理なので主に前工程において使用されます。
当然、単位時間当たりに出来るだけ多くのウェハーを処理した方が、ファブの稼働率が高まります。半導体製造プロセスは非常に長いため、スループットの低い製造装置が一つでもあると、そこが律速になっています。
したがって装置メーカーは足並みをそろえて、スループットの高い装置を開発することが求められます。
現実的には異なるプロセスを扱う装置のスループットをすべて統一することは困難であるため、ある程度短いラインを作成して、それを複数ライン用意することにより生産性を高めるアプローチが取られます。
参考文献
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