"ミックス アンド マッチ" という言葉があります。ググってみると、ファッションにおいて様々…
ガラスマスクの、白ヤギさん🐐と、黒ヤギさん🐐の話です。 会社によりけりで定義が違うと思う…
リソグラフィ工程の再生（リワーク）について、からの、マルチパターニングのお話です。 半導…
大チップ製品の話題とともに時々取り上げられつつある、Stitch露光の概要と、ほんのわずかに深…
半導体工場の、ダミーウェーハってなに？のお話です。 まず、半導体工場で使用される製品グレ…
少し人間臭いことをつらつら書く。 工程保証のインライン検査での不具合、例えば表面検査ムラ…
半導体技術、特にリソグラフィ界隈でのこの20年ちょっとの思い出を語ってみます。 ハードワー…
ウェーハのマーキング（刻印）について。 業界の方々にはお馴染みのマーキング。レーザーマー…
EUVネタで主役とはならないまでも、それなりの頻度で現れる「EUVペリクル」に関する話題。難し…
どの業界にも、指導者やグルと呼ばれる人たちがいて、半導体だとアナロググル（リニアテクノロ…
レジスト塗布プロセスに関しての単発ネタです。 何をなくともハードセッティング 結構捨てて…
露光装置の肝のひとつ、ステッピングについてのお話です。 露光の教本などには、一番最初に「…
リソグラフィの露光解像性 〜 NAと焦点深度について、数式を使わず、直感的な理解の一助になる…
工場における生産ボトルネック、についての私考です。「ボトルネックは動くのだ」という言葉に…
