DUV

書いてみる

関連タグ

#ABF (2)
#TACMIコンソーシアム (1)
#チップレット (20)
#ニュース (64,024)
#レーザー (805)
#半導体 (4,620)

東大ら4機関、DUVレーザーで半導体基板に世界最小の穴あけ加工を実現

半導体Times
2週間前