製造現場での生産装置の生産性向上活動の進め方　ー稼働時間とスループットの改善ー

０．はじめに

　装置産業である半導体製造では、生産装置のスループットがコストを半分を決定している。生産装置の生産性向上のための切り口は、実際に製品を作業するための稼働時間を増やすことと、稼働時間当たりの製品処理スピードをアップすることの2点であると考えられます。まずは、稼働時間の向上のための進め方を述べさせていただきます。ここで改めて申し上げますが、生産ラインで改善活動を進めるべき装置は、生産のボトルネックである装置であり、活動の展開以前にボトルネックを見出すことは必須となります。

1．稼働時間向上の進め方

　半導体製造装置は、高度にオンライン化された仕様となっており、装置の稼働状況をはじめとして、処理状態を示す各種センサーデータ及び実際の製品処理状況は、製造ラインの基幹システムに取得されています。その中でも重要な稼働状況の区分は、半導体製造の世界的な規格団体であるSEMIによりE10という規定で定められています。SEMI E10では、装置の状態を6つの基本的なカテゴリに分けて定義しています。
①      製品処理状態：装置が正常に動作し、生産を行っている状態。
②      スタンバイ状態：装置が生産を待機している状態。
③      エンジニアリング状態：装置がテストやメンテナンスのために使用されている状態。
④      計画内ダウンタイム状態：装置が予定された停止（例えば、定期的なメンテナンス）のために稼働していない状態。
⑤      計画外ダウンタイム状態：装置が予期せぬ問題（例えば、故障）により稼働していない状態。この状態は、装置システムの「故障」状態と定義される。
⑥      未計画状態：上記のいずれにも該当しない状態。
この区分に従い、装置１台毎の稼働状況は、下記の図のように示されており、管理者はこのグラフを見ることにより、視覚的に稼働状況を把握することが可能で、特異的な問題を見出すことが出来れば、改善のアクションを取ることになります。

装置稼働状況