フッ酸を送るポンプがあればコストカットできる？

2023年6月1日 13:08

「フッ酸移送でポンプの耐久性に困っている」
「フッ酸移送でポンプのメンテナンス頻度が多いのは当たり前になっている」
・・・という方、朗報です！
とくに、液晶ガラスを研磨する装置、半導体ウエハーの洗浄装置でポンプを使用している方はメンテナンスコストを下げられる可能性がありますので、ぜひご覧ください！

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※販売代理店担当者向けに作成した動画となりますので、若干構成が異なる場合があります。

ということで、今日はみつわポンプの納入事例、半導体・ガラス加工工場編・・・をご紹介します。

フッ酸を使う工程

左の写真は、スマートフォンの液晶ガラスを研磨する装置です。
研磨と言っても機械的な研磨ではなくて、エッチング（化学研磨）です。
そして右の写真は半導体ウェハーの洗浄装置。

こうした製造プロセスでは、非常に腐食性の強い「フッ酸」が使用されています。
フッ酸はおおくの物質に対して高い腐食性を持っているため、スマートフォンの液晶ガラスや半導体ウエハーといったものを研磨したり、洗浄するときに使われるのです。

つぎに、排水処理フローを見てみましょう。

工程から生じた排水は腐食性が強く、またフッ素除去には、摩耗性の高い消石灰スラリーが添加されます。
最終的には沈殿したフッ化カルシウムを、フィルタープレス等で固液分離します。

これらの工程で、私たちみつわポンプの製品を多数ご利用いただいています。

では、なぜ、みつわポンプなのでしょうか？

みつわポンプが使われている理由①

第1に、耐食性、耐摩耗性の二つを兼ね備えた、ゴムライニングポンプであるということがあります。
ステンレス製では、フッ素に対する耐食性が不充分であり、樹脂製では、排水に含まれるスラッジに削られてしまいます。
ゴムライニングポンプは、この難しい条件で力を発揮します。

みつわポンプが使われている理由②

第2に、アウトサイド型の無注水ダブルメカニカルシールを採用していることです。

「ダブル」・・・つまり、シールが二重になっています。
フッ酸や塩酸は非常に危険な液体なので、外に漏れるのは避けたいですよね。
それを二重で防いでくれる構造になっています。

さらに、メカニカルシールはアウトサイド型になっています。
下図の赤い部分、メカニカルシールの構成部品が、青いスラリー液の外側にポジショニングされます。
メカニカルシールの構成部品がスラリー液側にあるものは、逆にインサイド型と呼ばれます。
外側にあることでスラリーの影響を受けず、結果、メカニカルシールの耐久性も優れます。