そもそも品質工学ｆ　露光の評価？形の評価？（31）

レジスト膜の安定化ができたので、一息…つく間もなく、なんか次のテーマが降って来そうな感じですね～

…ということで、今回は問題編ですね～
レジストの形状の安定化をどう評価するか。

普通に考えれば、マスクの寸法の転写性。
ただし、立体的な形状なので、上も下も寸法を測らないといけない。

光学顕微鏡でもSEM（走査型顕微鏡）でもいいのですが、上面と下面の寸法を測って、その差は誤差として扱う。
そして、ウエハー内の中央と端で寸法が違うから、それも誤差因子。
あとは、隣り合うパターンの形状によっても、レジストの溶けだし方は変わる。
そもそも、パターンが直線なのか、それともL字なのかでも違う。

でも、わたる君は、寸法ではないって気が付いたみたいです。
化学反応ではないかと。

化学反応と品質工学ときたら、速度差法、速度比法という、いわゆる機能窓法という評価方法があります。

溶かしたい部分は早く反応する。
溶かしたくない部分は、反応しない。

この差（機能窓）を開く条件を探すという評価方法です。
まぁ、今回その方法を使うのかどうかは、続きのストーリーを見てくださいｗ

そんな話の続きが気になる人はこちら！
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