スパッタリングとは、nmからμm程度の薄膜を成膜する手法の一つです。このページでは スパッタリング成膜の歴史を関連書籍、特許文献、論文等の参考文献を元に年表形式でま…
jolly_gerbil445
2022年9月11日 20:17
スパッタリングとは、nmからμm程度の薄膜を成膜する手法の一つです。このページではスパッタリング成膜の歴史を関連書籍、特許文献、論文等の参考文献を元に年表形式でまとめていきます。ゆっくりゆっくり書き上げていきたいと思います。2022年2020年2010年2000年1990年1980年1970年1960年代Ta薄膜からスパッタリング成膜のエレクトロニクス応用が始ま
