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aeddgin
2023年5月4日 11:56
こんにちは。『表面技術』2023年3月号を読んでいます。読んだ記事について、気になったポイントをメモしておきたいと思います。今回読んだ記事のタイトルは「高純度オゾンガスを用いたALDプロセスの特徴」で著者は明電ナノプロセス・イノベーション㈱の亀田さんです。内容80%以上の高濃度オゾンを用いたALDプロセス(以下、PO-ALD)とALD装置に関して解説されています。従来のALDにおけ
2023年5月5日 22:58
こんにちは。『表面技術』2023年3月号を読んでいます。読んだ記事について、気になったポイントをメモしておきたいと思います。今回読んだ記事のタイトルは「粉体ALDとその応用」で著者はALDジャパン㈱の百瀬さんです。内容”粉体ALD”とは何か？どんな装置が使われるか？を説明したうえで、期待される応用分野について簡単に触れています。ポイントALD(Atomic Layer De
2023年5月6日 05:52
こんにちは。『表面技術』2023年3月号を読んでいます。読んだ記事について、気になったポイントをメモしておきたいと思います。今回読んだ記事のタイトルは「原子層堆積用ガリウムプリカーサーの開発」で著者は㈱高純度化学研究所の水谷さんです。内容高純度化学で開発したALD(Atomic Layer Deposition)に用いられるガリウムプリカーサー材料についての解説です。プリカーサーは
