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半導体製造装置などで利用される石英ガラスのネジ切り加工
★石英ガラス
加工物サイズ 幅20mm 奥行20mm 高さ10mm
脆性材の加工をPCD工具を用いて高能率・高品位に仕上げました
▶この記事の最下部に動画を掲載しております
加工している様子を、ぜひ動画でご覧ください
![](https://assets.st-note.com/img/1717485837536-LY8gmP5j37.jpg)
【加工条件】
主軸回転数 10,000~26,000
送り速度 15~190 mm/min
【加工工具】
PCDドリル工具 φ1.6×6.5 50秒/穴
PCD面取りカッタ 1×45°×2 1秒/穴
PCDスレッドミル M2×0.4 3分37秒/穴
![](https://assets.st-note.com/img/1717486630353-XiozOOY16t.png?width=1200)