【マガジン２５】『露光装置トレンドの初歩の初歩』～半導体～(2020/07/13)

今回は日本が優位性を保っている半導体製造装置の中でも、オランダのASMLにだいぶやられてしまっている露光装置について書いていきます。

露光プロセスは非常に大事で、今世界の半導体製造における「最先端技術」が詰まっているのは間違いなくこの露光装置です。

この露光装置が既存の露光プロセスからブレイクスルーを果たしたからこそ、台湾のTSMCが受託製造で断トツの１位となり、

世界の半導体回路設計メーカーがこぞってTSMCを外注に使うのは、この露光プロセスが世界最新鋭だからです。

今回は、そんな最先端の露光方法から１世代前の露光方法まで、ざっくりと説明していきたいと思います。

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