そもそも品質工学ｆ　レジスト膜の評価（28）

無事にMIMの成形をしている部署の実習を終えた
しかし、実習は数か所の部門をまわる

わたる君が訪れる次の部署はいったいどこでしょうね？

思えば、私もいろんな部署の実験を手伝っているなー
全部、経験談ですからね～

さて、半導体ですが、第0話のCVD成膜装置の最適化以来かな？
レジスト膜ですね。エッチングって言葉を初めて聞いたとき、エッチなことかと思ったのはナイショですｗ

エッチングというのは、薬液で溶かす作業のことです。
マンガ内では、そういった専門用語を使うと、半導体系じゃない人は「？」ってなるので、わざと使ってません。

…といいつつ、第0話がCVD成膜って、ガッツリ専門用語じゃないか！（笑

話を戻して…
スピンコーターっていう装置の最適化ですね。
ウエハーにレジスト膜を垂らして、ウエハーを回転させて成膜する装置です。ただ、周りにレジスト液を弾き飛ばすので、なんかもったいないなーって思ってました。

最近では、もっといい成膜装置があるみたいですね。
目的とする場所にレジスト膜を塗布する装置。
便利な世の中になったものです。

このレジスト膜が、面内均一じゃないんです。
どうしても、レジストの端面で盛り上がってしまいます。
表面張力があるから、しょうがないのですが。

それを品質工学で解決するにはどうするのか？
続きの話が気になる人はこちら！
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