そもそも品質工学ｆ　レジストを切る！（30）

回転数と膜厚、この入出力が機能ではない！？
既に実験は終わっている…この実験失敗を打開する方法はあるのか？

CI03に何やら秘策があるようだが？

完全にまっ平らになるわけではないですが、最後に高速回転させて端面のレジストを振り切ることで、かなり改善されます。

欲しいのは確かに平らな面です。
しかし、スピンコーターは平らにすることをしているのでしょうか？
してませんよね？

レジストを弾き飛ばすということをしているだけ。
これがスピンコーターの機能なのです。
電気エネルギーは、レジストを飛ばす運動エネルギーに変化する。
ここには、平らにするなんて機能はどこにも出てこない。

だから、エネルギーの流れ図を書いてみるのです。
そうすることで、自分が考えた機能が、本当の機能なのかを知ることができます。

自分が欲しいと思っているものが、それは機能なのか？
意外と違う場合が多いのですよ！

さて、レジスト膜塗布ときたら、次はこれですよね？
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