日本の半導体露光装置銘柄２選！王者ASMLへキャノン、ニコンが逆襲！
■概要
テーマに沿った銘柄を分析し、厳選した銘柄をランキング形式でご紹介
■テーマ
［半導体露光装置とは］
上から、光源で紫外線（UV）光を照射すると、コンデンサレンズで光を修正後、複雑で微細な電子回路のパターンを大きなガラス板フォトマスクで構成します。次に光が投影レンズを通過して、半導体基板に回路パターンを結像。そうするとウエハには、UV光が当たると性質が変わる樹脂のレジストが塗ってあるので、光が当たった時には、フォトマスクに描かれた回路パターンが転写されるしくみになっているのです。これが、シリコンウェハと呼ばれるシリコンの板に回路を焼き付ける半導体露光装置というわけです。
【半導体露光工程】
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