🟩ASMLのベルリン工場火災

オランダの半導体露光装置メーカーASMLは火災によりベルリン工場の一部を閉鎖した。

Fire incident at ASML Berlin

🟩ASMLのベルリン工場火災わ

ASMLのベルリン工場の一部で火災が発生しました。敷地面積３万2000平方メートルのベルリン工場で火災の影響を受けたのは約200平方メートルです。影響を受けた部分のみを閉鎖し、それ以外は操業しています。

🟩EUV装置の生産に影響

ベルリン工場では先端EUV（極端紫外線）装置に使われるウエハークランプやミラーブロックなど、さまざまな部品が生産されています。現在この生産エリアの復旧計画を完了しました。しかしEUVの生産への影響は避けられません。EUV装置は最先端プロセスを製造するTSMCとサムスン電子が大部分の納品先です。

🟩まとめ

ASMLのベルリン工場火災によりEUV製造装置の生産に影響がある

EUV装置はASML以外の企業は製造していません。代替の企業がないのでASMLの生産遅れは業界全体に影響します。今回の火災でDUV装置は影響がないので、DUVのライバルのキャノンやニコンに好影響が出ることもなさそうです。