【学会誌】FIB後に電解研磨でキレイにする

こんにちは。
表面技術協会の学会誌である『表面技術』2022年11月号は電解研磨などの研磨技術に関する特集が掲載されています。
ポイントと気になった内容をメモしておきたいと思います。

今回の記事のタイトルは『フラッシュ電解研磨を用いたFIB試料作製』で、著者は九州大学の島袋さんです。

2022年：73巻11号｜会誌「表面技術」｜表面技術協会

ポイント

• 重イオン照射試料のFIB加工では、FIBによるダメージと試料本来のダメージを区別することが難しい

• FIB加工後に電解研磨を用いて表面のFIBダメージ層の除去を検討したが、観察に必要な保護膜が先に除去されてしまうため、うまくいく条件を見出すことが出来なかった

• 試料の結晶サイズが大きい場合に、電解研磨でFIBダメージ層の除去が(比較的)上手くいく傾向にある。

感想

この記事は上手くいかなかった結果を示している点では参考になったが、改善の方向性がいまいち分からない点がよろしくないと感じました。

サッと試した結果を並べただけでこれ以上検討する気はないのではないかという印象です。

まぁ、この内容なら私でもすぐに別の方法へ方向転換すると思うので、文章にまとめて、学会誌に掲載しただけでも尊敬できるかもしれないです。（ただ、もう少し詳しい検討結果を載せてもらえれば…、と思いました。）

今回は記事を読んだという記録として残したいと思います。

今日は以上です。