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DLC膜 学習シリーズ1. PBIIとは？？. Plasma Based Ion Implantation
今日は、今勉強しているDLC膜の具体的な方法の一つについて、
お伝えしますね！
この方法は、アメリカで開発され日本に輸入されました。
上の添付写真は、装置のチャンバーの中です。
この中で、
・真空を引き
・ガスを入れ、
・電流を流し
・プラズマを発生させて、
・物質を添加させる
何やら難しい原理です。
まだまだ、きちんと説明が出来ないです。
もっと勉強が必要ですね！
私のnoteをご覧の皆さんは、これからたくさんの専門知識、役立つ知識を手に入れられると思います！
これは、成長や成功のチャンスの源になるはずです。
一緒にコツコツと知識を身につけていきましょう
今日も、見て頂き、ありがとうございます♪
RF・高電圧パルス重畳型PBIID成膜法
1.プラズマイオン注入技術
プラズマイオン注入
（plasma immersion ion implantation ）PIII
（plasma based ion implantation ）PBII
原理は？
プラズマ中に浸した試料に負の高電圧パルスを印加する事で、基材とプラズマの界面にシースを形成し、そのシース電場でシース端のイオンを加速し、注入やコーティングなどを行う方法である。
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