半導体試験技術
Function試験とDC試験
SoCの基本構成を示す。
SoCをテストする半導体試験装置(ATE: Automated Test Equipment)のテストヘッドにはDPS(Device Power Supply)とDigital Moduleが搭載されている。
DPSは測定デバイスへの電源供給を行う。
デジタルモジュールは各ピンへのピンエレクトロニクスを持ち、DUT(Device Under Test)のDC特性測定と入力信号発生/出力信号判定(Driver / Comparator)を行う。
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