美しき塗布の世界

レジスト塗布プロセスに関しての単発ネタです。

何をなくともハードセッティング

レジスト吐出量削減を攻めたいなら、最優先にすべきはコーターのウェハ搬送調整と吐出ノズルのセンター出し・高さ出しです。搬送・駆動系がばらついてたらその時点でしっかりメンテ。レシピやサックバックの調整はそのあと。順番間違うと思いっきり手戻りになります。なりました。

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) March 5, 2022

結構捨ててる

感光レジストの膜厚は、液盛り→スピン調整→ベークで確定します。ベーク前の膜厚を測ったことないのですが、例えば仮に膜厚が変わらず(そんなことないと思うが..)300mmウェハに100nm塗るとして、必要量は0.007cc。塗り広げるための液盛りは約1cc必要なので、99%はスピンで捨てていることになります。 https://t.co/VcDtiDrY39

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) February 11, 2023

音無し条件はいい条件

レジスト塗布の基本

泡立てない
飛び散らせない
ずらさない

そのために必要なのは、

安定したノズル形状
シンプルな配管引き回し
完全な置換
均一な液圧
レベル出しされた吐出対象
などなど

回転数や温度制御などのレシピパラメータ編集をしていいのは、これらができた後。まだ押すなよ！ https://t.co/u88XlKyxgI

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) January 21, 2023

芳香族

感光性ポリイミドの思い出。塗布とキュアだけでなく現像で膜厚がばらついたり、開口100um以上あるからと油断するとキュアの仕上がりでえらいなで肩になったり、それが出荷前のインスペクションで引っかかったり、なかなかの生き物的プロセスです。

何よりとてもいい香りがします（危

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) March 15, 2022

冷えピタ

感光性ポリイミドの思い出(2)

感度低下に対してかなりアシが早いため、在庫はできるだけ冷凍保管しコーターに繋ぐ前に半日かけて常温に戻す運用をしていた。

その常温戻しを忘れてラインが止まりそうになった。責任感じた工程リーダーやばい！となって、ガロン抱っこして仕事して時を早めました。

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) March 16, 2022

美しき塗布の世界

レジスト塗布のハイスピードカメラ映像。

自らで組んだレシピ挙動を現場で眺めるのも大事ですが、こういったテクノロジーの目で観察するのも色々な考察に繋がってとても良い。→
https://t.co/W8aNRatT7U

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) April 8, 2023

濡れ性

いつか界隈で役に立つかもしれない日本語

🙅塗れ性
🙆濡れ性（= wettability）

「塗る｣は他動詞、
「濡れる｣は自動詞であり、
「塗れる（ぬれる）」という言葉はありません。

「塗れる（まみれる）｣なら読みとして正解。

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) April 3, 2023

焼きすぎ注意

感光性レジストは100-120℃あたりでベークするのが標準ですが反応速度と解像性の変化を試すために80℃でじっくりコトコトとか150℃でウェルダンとか試したことがあります。

後者は見事に炭化されて吹けば飛ぶような粉状になりました。量産CRで絶対に真似してはいけません（切実 https://t.co/fZNuzWZYR0

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) December 5, 2022

エンコ

寝ぼけ頭でスピン系の装置扱ったら、ダメ。ゼッタイ。 https://t.co/YzOmwNIbbp pic.twitter.com/4LBlLmfVaP

— リソグラフィエンジニアの戯言 (@ProbablyClass1) April 7, 2023