スパッタリングとは、nmからμm程度の薄膜を成膜する手法の一つです。このページでは スパッタリング成膜の歴史を関連書籍、特許文献、論文等の参考文献を元に年表形式でまとめていきます。ゆっくりゆっくり書き上げていきたいと思います。 2022年 2020年 2010年 2000年 1990年 1980年 1970年 1960年代 Ta薄膜からスパッタリング成膜のエレクトロニクス応用が始まった。 1927年 イギリスで薄膜ヒューズの特許出願される 1927年 イギ
