SiCへのあくなき挑戦!~性能・品質の向上を目指して~
ローム社員に、業務のやりがいや仕事への想いを聞いてみました。今回ご紹介するのは、福岡県のローム・アポロ筑後工場に駐在しているパワーデバイス事業本部のYさんです。
担当業務を教えてください!
私は「次世代SiCパワーデバイスに適用するゲート絶縁膜形成プロセス技術の開発」を担当しています。SiCパワーデバイスの性能指標の1つである ”オン抵抗” は、MOSチャネル移動度を上げることでさらに低減させることが可能です。また、大学等の研究により、MOSチャネル移動度を上げる方法とし